CVD制程真空泵维修、爱德华、眉山真空泵维修

爱德华QDP80 GV80爪式真空泵维修保养

①真空泵泵能盘动而不转。原因可以是联轴器故障；皮带打滑；电机接线有误；电机损坏；电源没电等。

　　   ②不能盘动或盘起来很重的，原因可以是因为起动泵温太低，泵油粘度太高；设计制造原因的停泵返油太多。油位太高引起的停泵返油太多（加油太多，或有水汽在泵中凝结，或在排气管中凝结的水流回泵中）；有异物在泵内（进气管中的焊渣、氧化物；旋片弹簧等泵零件的碎屑；旋片变形卡住；发生了咬合（铜套、转子、中壁、泵盖、定子、轴承）。

爱德华QDP80/GV80真空泵维修

爱德华QDP80/GV80真空泵属于干式真空泵，在使用一定的时间后，会出现机械老化，配件磨损或者损坏等，CVD制程真空泵维修，这就需要我们做维修，半导体行业真空泵维修，更换相应的配件，在维修当中，眉山真空泵维修，我们要注意哪些问题点

爱德华GV80 QDP80容易出以下故障

1、泵头卡死，因为爱德华QDP80 GV80抽取的空气中含有大量的粉尘，容易吸附在机械件上面。